中文名稱：三氟甲烷

中文別名：氟仿;氟里昂-23;HFC-23滅火劑

英文名稱：trifluoromethane

英文別名：Carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23;

分子式：CHF3

分子量：70.0138

外觀與性狀：無色無臭氣體。

產品用途

在半導體產業中，三氟甲烷用在二氧化硅及氮化硅的等離子蝕刻（plasma etching）中。三氟甲烷也是一種制冷劑，名稱為R-23或HFC-23，因為其不含氯，不會造成臭氧層破洞，有時會用來會取代造成臭氧層破洞的三氟氯甲烷（cfc-13）。

三氟甲烷因為其低毒性、不容易反應及高密度，可用作滅火劑使用。此時常使用杜邦的商標名稱FE-13代表三氟甲烷。

注意事項

操作注意事項：密閉操作，全面通風。操作人員必須經過專門培訓，嚴格遵守操作規程。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。

儲存注意事項：儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與氧化劑、易（可）燃物分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。